review-etching-evidenceZusätzliche Nachweise erforderlich
Qualifizierte Ätzdaten und lokaler Abtrag
Offline-Prüfung mit zusätzlichen Dateien und Nachweisen
Prüfumfang und Grenzen
Vergleicht vollständige kalibrierte Ätzverläufe und geforderte gepaarte lokale Oberflächenmessungen mit gelieferten qualifizierten Grenzen.
Diese Prüfung gehört zu den separaten Offline-Werkzeugen. Sie wird beim STEP-Upload nicht automatisch ausgeführt und benötigt die unten beschriebenen zusätzlichen Eingaben.
Benötigte Eingaben
Substrat, Werkstoff und Los, Chemie, Rezept und Charge, Aufbau und Prozessprofil, gemessene Verläufe sowie gepaarte Abtragsmessungen.
Bewertungsgrenzen
Keine universelle Ätzratenregel, CAD-basierte Abtragsvorhersage oder Aussage zur gesamten Oberfläche aus lokalen Messungen.